瑞士VAT高真空控壓擺閥65.3系列
可優(yōu)化半導(dǎo)體與顯示器系統(tǒng)中的下游壓力控制和隔離
65.3 控壓擺閥設(shè)定了下游壓力控制和隔離的新標(biāo)準(zhǔn)。該系列控壓擺閥專為半導(dǎo)體和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)計，可在較寬的流導(dǎo)范圍內(nèi)提供高水平的可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機(jī)，可提供改進(jìn)功能。

產(chǎn)品廠地：上海市

更新時間：2026-03-02

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瑞士VAT高真空控壓擺閥65.3系列

65.3 控壓擺閥設(shè)定了下游壓力控制和隔離的新標(biāo)準(zhǔn)。該系列控壓擺閥專為半導(dǎo)體和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)計，可在較寬的流導(dǎo)范圍內(nèi)提供高水平的可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機(jī)，可提供改進(jìn)功能。

驅(qū)動器控制器具有更高的 32 位數(shù)據(jù)處理能力，可提供全新可控性。這意味著可以非?？焖?、精細(xì)和準(zhǔn)確地控制鐘擺閥板的各個位置，從而在極短的響應(yīng)時間內(nèi)實現(xiàn)非常精確的下游壓力控制。閥門的預(yù)設(shè)運動序列可根據(jù)各種不斷變化的工藝參數(shù)，對速度和路線進(jìn)行調(diào)整。65.3 控壓擺閥還可防止粒子釋放。閥板經(jīng)過優(yōu)化的阻尼關(guān)閉運動可避免傳統(tǒng)閥門常見的沖擊和振動。65.3 控壓擺閥的閉合順暢無礙，幾乎察覺不到關(guān)閉和打開。閥板提供非常精確的機(jī)械引導(dǎo)，可確保往復(fù)運動中的無接觸氣流控制，并在密封運動的所有區(qū)域內(nèi)實現(xiàn)均勻的密封。

65.3 控壓擺閥已經(jīng)安裝在數(shù)百個各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其可靠性和性能。65.3控壓擺閥還是改造現(xiàn)有系統(tǒng)的理想之選。

65.3 控壓擺閥的尺寸為 DN 100-350 mm (4" - 14")，采用鋁或硬質(zhì)陽極氧化鋁制成，帶有 ISO-F 和 JIS 標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接?？杉啥ㄖ品ㄌm，也可作為直接安裝選項。標(biāo)準(zhǔn)密封材料為氟橡膠，并且可根據(jù)要求使用其他材料。

控制器可采用特殊控制算法（自適應(yīng)、固定 PID、上游、軟抽）。控制器上的各種標(biāo)準(zhǔn)端口可通過個人計算機(jī)或連接到過程控制單元 (PCU) 輕松訪問。專用的控制性能分析儀 (CPA) 軟件可輕松校準(zhǔn) 65.3 控壓擺閥并簡化維護(hù)計劃

瑞士VAT高真空控壓擺閥65.3系列

特點:

快速精確的壓力控制
無沖擊操作：無粒子生成
提高工藝穩(wěn)定性：可控制所有流量和壓力
帶有控制性能分析儀 (CPA) 的 32 位集成壓力調(diào)節(jié)器 (IC2)
“即插即用"改造：無需校準(zhǔn)或匹配

優(yōu)勢:

可靠性、精度和速度
維護(hù)周期延長
運行成本低

尺寸		DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12"), DN 350 (14")
驅(qū)動器		帶集成壓力控制器的步進(jìn)電機(jī)
閥體材料		鋁：鋁或硬質(zhì)陽極氧化鋁
饋通件	驅(qū)動器密封圈	旋轉(zhuǎn)饋通件軸饋通件
標(biāo)準(zhǔn)法蘭		ISO-F, JIS
泄漏率閥體	鋁硬質(zhì)陽極氧化鋁	< 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-5 mbar ls-1
泄漏率閥座	鋁硬質(zhì)陽極氧化鋁	< 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-4 mbar ls-1
壓力范圍	鋁硬質(zhì)陽極氧化鋁	1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (絕對壓強(qiáng)) 1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (絕對壓強(qiáng))
維護(hù)前開關(guān)次數(shù)1)	壓力控制關(guān)閉/打開	100 萬次 20 萬次
溫度	閥體控制器	≤ 120 °C 最大 50℃（建議 ≤35℃）
材料	閥體、閥板	EN AW-6061 (3.3211)
	密封圈	EN AW-6061 (3.3211), AISI 305 (1.4303), AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568)
	其他部件	AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 440 (1.4122), AISI 301 (1.4310), AISI 316 Ti (1.4571), AISI 304 (1.4301)
密封	閥蓋、閥板、閥體饋通件	氟橡膠（含氟彈性體）
安裝位置		任何位置